Weißlicht-Interferometer für hochgenaue Multilayer-Messungen

Micro-Epsilon Weißlicht-Interferometer zeichnen sich durch ihre herausragende Präzision und absolute Messwerte aus. Die industrietauglichen Geräte eigenen sich sowohl zum Inline-Einsatz für die Maschinen-Integration als auch für Laboranwendungen. Weißlicht-Interferometer messen Abstand sowie Dicke und erreichen dabei Nanometer-Genauigkeiten bei Auflösungen im Pikometerbereich.

Mit den neuen Multipeak-Ausführungen wird nun auch die hochpräzise Erfassung mehrerer transparenter Schichten in nur einem Messvorgang ermöglicht. Zwei Controller-Modelle stehen zur Multipeak-Abstandsmessung (IMS5x00-DS/MP) oder Mehrschicht-Dickenmessung (IMS5400-TH/MP) zur Verfügung. Die beiden Systemvarianten unterscheiden sich dahingehend, dass die Schichtdicken bei den Abstandssystemen aus den jeweiligen Abstandswerten berechnet und beim Dickensystem direkt gemessen werden. Je nach Applikation profitieren Anwender dadurch von unterschiedlichen Vorteilen.

Systeme zur Multipeak-Abstandsmessung werden insbesondere bei Ausrichtungs- und Positionieraufgaben eingesetzt, bei denen ein Abstand gemessen und gleichzeitig eine Dicke bestimmt werden soll. In einem großen Messbereich von 2,1 mm lassen sich bis zu 13 Schichten mit minimalen Dicken bis zu 10 µm (BK7) erfassen. In Relation zur Genauigkeit erfolgt die Messung dabei aus großem Abstand von rund 19 mm. Dank der absoluten Messung muss das System auch nach einer Signalunterbrechung beispielsweise bei Stufen oder Kanten nicht referenziert werden.

Systeme zur Mehrschicht-Dickenmessung kommen stets dann zum Einsatz, wenn abstandsunabhängige Dickenwerte für bis zu 5 Schichten gefordert sind. Im Dickenmessbereich von 2,1 mm werden Einzelschichten bis zu 35 µm (BK7) prozessstabil gemessen. Abstandsschwankungen des Messobjekts kompensiert der große Arbeitsbereich, sodass Vibrationen oder andere Materialbewegungen keinen Einfluss auf die Messung nehmen. Ein weiterer Vorteil der Dickensysteme liegt im großen Grundabstand: Die Messungen erfolgen aus bis zu 70 mm Entfernung zum Messobjekt, was Prozesssicherheit bietet und vor Beschädigungen des Sensors schützt.

Bei allen Systemen steht ein modernes und intuitives Webinterface für die einfache Systemkonfiguration zur Verfügung. Zudem bieten die vielfältigen Schnittstellen (EtherCAT, Ethernet, PROFINET, EtherNet/IP, RS422, Analog) zahlreiche Integrationsmöglichkeiten. Für den industriellen Einsatz sind die Interferometer-Sensoren mit hoher Schutzart IP65 ausgestattet. Vakuumtaugliche Systeme sind optional ebenfalls erhältlich.

Vorteile der Weißlicht-Interferometer

• Best-in-Class Auflösung <30 pm
• Linearität bis zu ±10 nm für Nanometer-Präzision
• Abstandsunabhängige Dickenmessungen
• Bis zu 13 Schichten mit minimalen Dicken bis 10 µm messbar
• Robustes System für prozessstabile Messergebnisse
• Großer Abstand zum Messobjekt bei 2,1 mm Messbereich
• Pilotlaser visualisiert Messpunkt und gibt optisches Feedback zur Messposition